关于FAB厂的LOTA规则是怎么都的呢？

Wzx_imos · 发表于 2024-7-24 19:46:05

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如图中 2处所示的LOTA规则运算是怎么看的呢？
图中 1处的“C”和"D"分别表示什么意思呢？
有没有大佬能帮忙解一下惑。

ethanchung · 发表于 2024-7-24 20:44:15

Your "data" can be a reference to your mask design file (the database, as in "Please send your data") or to the enclosed polygons in your design (the digitized data, as in "What tone is your data?"). Digitized data may not be the same as your features depending on how your data is drawn and if it has been reversed. Digitized Data A mask design consists of two distinct areas: the area inside polygons and the area outside polygons. Digitized data is the area INSIDE polygons. If you tell us you want the Digitized Data to be clear, will will make the area inside the polygons clear on the mask.

飞翔的鸟 · 发表于 2024-7-25 09:01:54

这里的C和D分别代表clear和dark，做MASK时候用的，简单说就是最终litho后，C会被光照射，D是被挡住，不被照射，结合光刻胶正负，就可知道最终litho后的形状了。LOTA规则是将层进行各种逻辑操作，得到最终MASK，你图里面这个比较麻烦，一两句解释不清楚

Wzx_imos · 发表于 2024-7-25 12:56:30

飞翔的鸟发表于 2024-7-25 09:01
这里的C和D分别代表clear和dark，做MASK时候用的，简单说就是最终litho后，C会被光照射，D是被挡住，不被照 ...

谢谢您的回复

Wzx_imos · 发表于 2024-7-25 13:00:57

可以看到上图中的Formular部分，是将各种层次做一些运算比如说：-，*，+
我想问一下这些运算是怎么个运算法呢？

Michael2023 · 发表于 2024-7-28 19:06:01

楼主可以分享下55nm的LOTA吗

cd1992 · 发表于 2024-7-29 16:18:22

很少人一条一条去看lota的，太复杂冗长了。你图中2太长了，你可以自己练习下你图中的pdrift或者pfield。那些符号文档应该有介绍，你直接拿个笔在纸上画一个图，然后根据这个逻辑演变下，看下最终图形的变化

Wzx_imos · 发表于 2024-7-30 22:30:37

Michael2023 发表于 2024-7-28 19:06
楼主可以分享下55nm的LOTA吗

抱歉，这个是真没有

Wzx_imos · 发表于 2024-7-30 22:32:04

cd1992 发表于 2024-7-29 16:18
很少人一条一条去看lota的，太复杂冗长了。你图中2太长了，你可以自己练习下你图中的pdrift或者pfield。那 ...

thanks,我去找一找

PN_Allen · 发表于 2024-8-7 15:55:02

Wzx_imos 发表于 2024-7-25 13:00
可以看到上图中的Formular部分，是将各种层次做一些运算比如说：-，*，+
我想问一下这些运算是怎么个运算 ...

一般是逻辑运算的与或非。文档应该有解释

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