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楼主: Wzx_imos

[求助] 关于FAB厂的LOTA规则是怎么都的呢？

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发表于 2024-8-9 18:36:40 来自手机 | 显示全部楼层


   
飞翔的鸟 发表于 2024-7-25 09:01
这里的C和D分别代表clear和dark，做MASK时候用的，简单说就是最终litho后，C会被光照射，D是被挡住，不被照 ...


补充一下，LOTA是黄光process的要求，需求做到Target ，会加LOTA，比如*/side
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