不同注入之间，仅用有源区连接是否能导通？

壮宇 · 发表于 2023-11-29 20:39:32

843071455 发表于 2023-11-29 20:20
locos工艺和sti工艺要分开看，它两个是不同的，你看明白了polycide和salicide工艺的区别，你就应该知道上 ...

好的，谢谢前辈提点！

目前看了salicide的过程，贴近的一整块有源区确实会被硅化物给短路掉，而且我使用的这个工艺确实存在salicide的步骤来降低电阻，完美解释了我的疑惑！
将您的答案列为最佳答案，方便后来的朋友们了解，十分感谢您的回复！

cherry_li · 发表于 2023-11-30 08:46:19

是的，这种是通过有源区上的金属硅化物silicide 连接的。不过一般在老一点的工艺可以用。40nm以后silicide很薄，电阻变大，是不建议这样连的

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