不同注入之间，仅用有源区连接是否能导通？

壮宇

求助大家，仅用有源区连接管子的源端和衬底接触，这种情况下的反相器是能正常工作的吗？

我对有源区的理解是，有源区是薄氧区域，方便离子注入，即有源区是离子注入的窗口，所以这种情况下，我认为不同注入之间的有源区连接应该是一个PN结，而不能当连线，这个反相器应该不能正常工作。
但事实是，DRC和LVS都没有问题。
最近对这个问题好困扰，恳请大家批评指正，指点迷津！

843071455

壮宇 发表于 2023-11-29 15:45
谢谢前辈的回复解答

前提是电路就是这样设计的，版图是否可以这么画，不考虑阱电位是否独立，我目前所理 ...

你如果了解这类工艺的制作过程你就会明白这样为什么可以了，虽然有源区注入了不同的掺杂会形成pn，但是在有源区的上面还有一层金属硅化物的，它是可以导电的，所以即使上面没有金属它依然可以导通的(看看polycide和salicide制作过程就明白了)。

LXS13225665126

这DRC能过？

壮宇

LXS13225665126 发表于 2023-11-29 10:11
这DRC能过？

DRC肯定是没问题的，有一种integrate形式的衬底放置方法就是：管子的衬底接触和管子的源端贴着放。如图所示

Andyou

新大陆啊

Jerome_Sun

这样就相当于软连接了，因为poly相当于一个横亘在diff中间的墙，你可以在电路上再加一个inv试一试连线关系，按照工艺流程来说确实没错，但是仅仅是有一个这样的电位，没有电流通过。（我的理解）

xuhao

有源区本质上是去掉非有源区的硅衬底，可以理解为有源区等同于导线，只不过电阻更大。

maomao198477

本来就是要接一起的

tuohong

这个反相器不能工作。
你的理解是对的，咱们先看上半边，NWELL端有metal接过来，但是它本身是N型且接高电位，这个PN接不具备导通条件，所以没有电流从NWELL流到流到PMOS的Source端；
你看一下你电路的PMOS的symbol，画的非常严谨，那个横着的小箭头，是bulk端，跟source是断开的。它为PMOS提供衬底电位，跟你的PMOS的source端没有关系，要让你的PMOS工作，source端必须有电流过来，NWELL端的过不来，你就要独立的给他接。layout上一根metal穿下来仅仅是因为他们在schematic上的电位恰好相等；
实在是因为电路设计里PMOS的source和bulk端是同电位的情况太多了，才会造成这种混淆。你只要把PMOS想象成一个单管传输门，source接的是一个中间点位，你就知道source和bulk是完全独立的了。
DRC过了是这个图形符合design rule，LVS过了是因为softconnect option没打开，或者干脆是command file写的不好。

下面NMOS也是这么回事儿。

壮宇

xuhao 发表于 2023-11-29 13:32
有源区本质上是去掉非有源区的硅衬底，可以理解为有源区等同于导线，只不过电阻更大。
...

感谢您的回复
不过按我对“有源区等同于导线”的理解，有个前提是：“在同一注入下”。
不同的注入之间，有源区也可以等同于电阻大的导线吗？