求解为什么tsmc7nm的design rule规定poly Length要大于8nm

0103 · 发表于 2023-10-11 17:39:00

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比较好奇，为什么tsmc7nm的design rule规定poly Length要大于8nm

이지은 · 发表于 2023-10-12 09:17:41

N+1/N+2/N+3

luwang · 发表于 2023-10-12 09:29:25

这种工艺下，低于8n可能就很难关断mos管了，漏电问题是需要考虑的，制造工艺也会有限制，低于8n良率扛不住，4nm节点会有4n和6n的管子，当然造价也会更高

补充内容 (2023-10-19 13:32):
您可以搜搜看为什么不叫8nm，至于N+1N+2N+3.只不过是工艺迭代的名称罢了，以smic为例，N只是代指某个工艺节点，这三代会在晶体管密度上有所提升

seafly2009 · 发表于 2024-8-6 22:16:16

tsmc 7nm 里面应该有一个PO trim的layer，Tsmc的7是layout 8nm,然后用trim修到7nm的

[原创] 求解为什么tsmc7nm的design rule规定poly Length要大于8nm

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