晶圆厂工艺可靠性测试

mlqian · 发表于 2023-8-21 17:34:19

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请问晶圆厂的工艺可靠性HCI、GOI、TDDB、NBTI、SM、EM等都是怎么测试的，怎么评判是否pass呢。

PN_Allen · 发表于 2023-8-22 09:48:01

总体都是按照JEDEC标准制定，细微差异就是FAB自己的秘密了

ALL王哥 · 发表于 2023-10-17 14:46:24

PN_Allen 发表于 2023-8-22 09:48
总体都是按照JEDEC标准制定，细微差异就是FAB自己的秘密了

有相关资料吗

yesmyboy1 · 发表于 2023-11-26 23:17:54

也想了解fab怎么操作

copper_hou · 发表于 2023-11-27 09:06:10

JEDEC/FSA JP001专门针对wafer fabrication制订了process qualifiication的技术标准。

hahahay · 发表于 2023-12-13 10:36:35

JEP001就是JEDEC的FOUNDRY PROCESS QUALIFICATION GUIDELINES

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