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[求助] 求助,有人知道湿蚀刻SiN一般用什么蚀刻溶液吗

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发表于 2023-8-14 13:58:07 | 显示全部楼层 |阅读模式

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有人知道湿蚀刻SiN一般用什么蚀刻溶液吗,蚀刻SiN后,不会蚀刻AlGaN外延层
 楼主| 发表于 2023-8-14 14:04:10 | 显示全部楼层
SiN是LPCVD沉积的薄膜
发表于 2023-9-14 15:35:37 | 显示全部楼层
如果不是以去除为目的,湿法腐蚀用BOE会好一些。
发表于 2023-9-19 16:39:32 | 显示全部楼层
SIN用热磷酸湿法刻蚀
发表于 2023-9-28 16:40:43 | 显示全部楼层
BOE湿法蚀刻,我就是做这个的,半导体湿电子化学品
 楼主| 发表于 2023-10-13 13:20:06 | 显示全部楼层


xl518 发表于 2023-9-28 16:40
BOE湿法蚀刻,我就是做这个的,半导体湿电子化学品


好的,谢谢
 楼主| 发表于 2023-10-13 13:21:49 | 显示全部楼层


z506161991 发表于 2023-9-19 16:39
SIN用热磷酸湿法刻蚀


谢谢,我去尝试一下
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