随着wafer尺寸不断增大,如果仍然采用1:1比例的mask,就需要更大尺寸的透镜,同时对透镜折射率均匀性,表面均匀性,以及光学像差等提出了更高的要求。为了解决这一问题,步进式光刻技术(Steppers: Step and repeat systems )随之出现。步进式光刻的基本思想是:透镜尺寸不变,曝光区域由原来的整个wafer变为单个Die,采用小区域曝光。首先把wafer分成无数个小方块Die,通常尺寸为22mmX22mm(关于Die的概念可以参考以前的文章Y1D17—硅光相关概念wafer,die,chip以及bonding),然后通过4:1或者5:1的比例制作一个Die的mask(传统mask与wafer是1:1)。https://zhuanlan.zhihu.com/p/146326468