同一工艺，不同电源电压的管子的差异在哪里？

danalog · 发表于 2023-2-16 14:48:22

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我看了一下不同电源电压管子的版图，差别在于OD不一样，难道说要进行不同的离子注入进行杂质补偿吗？

maomao198477 · 发表于 2023-2-16 15:20:49

关于半导体器件和工艺方面的书籍去翻翻看

小李飞刀 · 发表于 2023-2-16 17:40:41

如果是1.5V/5V这种器件的话，一般是gate oxide厚度不同，poly尺寸不同，阱掺杂也不同。如果是2.5V UD3.3这种描述的，一般是poly CD不一样，其他的工艺都没什么差别

powerboy711 · 发表于 2023-3-30 09:10:14

不同电源电压问题描述不是很准确，是vgs，还是vds，不同vgs的管子差别在od厚度，实现不同vds有很多方法，比如浓度差异，表现为版图层次差异，距离不同，表现为版图器件DS距离不同，还可通过改变结构实现不同的VDS

dvdcz · 发表于 2023-5-10 11:11:12

Gate OX厚度会做的不一样，高压的管子Gate OX厚一些，低压的薄

[求助] 同一工艺，不同电源电压的管子的差异在哪里？