请问T家.18工艺有没有用STI

红红的西瓜 · 发表于 2022-7-10 17:22:12

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请问T家.18工艺有没有用STI？如果有，为什么在版图上没有STI的层？难道是默认在有源区边界做上STI？

一直走吧 · 发表于 2022-7-11 15:30:14

肯定用了。STI就是场区，以前是场氧，现在是浅槽隔离

红红的西瓜 · 发表于 2022-7-11 20:02:32

一直走吧发表于 2022-7-11 15:30
肯定用了。STI就是场区，以前是场氧，现在是浅槽隔离

谢谢回答。所以没标出但是默认做吗？

nanke · 发表于 2022-7-13 13:57:38

到哪个工艺开始有STI的呢？.35 .5？

红红的西瓜 · 发表于 2022-7-13 15:54:52

nanke 发表于 2022-7-13 13:57
到哪个工艺开始有STI的呢？.35 .5？

这个我不太清楚，等人回答~

红红的西瓜 · 发表于 2022-8-19 11:31:56

应该是有的。TSMC .18的原理图器件参数图下如，这里可以预设LOD的值，并且版图上后仿单个管子也验证了存在STI引入的效应。

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