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查看: 2649|回复: 6

[求助] 28nm工艺中的N-free DARC

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发表于 2022-5-19 11:27:30 | 显示全部楼层 |阅读模式

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请教各位大佬:28nm工艺中的N-free DARC, 是一种什么材料, N是什么? 为什么需要N-free。

谢谢!
发表于 2022-6-7 14:33:09 | 显示全部楼层
N就是氮,N free就是不含N元素,避免和光阻发生不良反应。
 楼主| 发表于 2022-6-9 09:03:05 | 显示全部楼层


likeit9804 发表于 2022-6-7 14:33
N就是氮,N free就是不含N元素,避免和光阻发生不良反应。


谢谢啦!
发表于 2022-8-18 13:54:23 来自手机 | 显示全部楼层


likeit9804 发表于 2022-6-7 14:33
N就是氮,N free就是不含N元素,避免和光阻发生不良反应。


DARC本身不就是SiON吗,怎么会不含N呢?
发表于 2022-9-30 12:31:47 来自手机 | 显示全部楼层
SiOCH
发表于 2024-2-2 15:02:09 | 显示全部楼层
学习了,谢谢
发表于 2024-2-4 15:19:01 | 显示全部楼层
#2 #5 是对的
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