28nm工艺中的N-free DARC

gcwen · 发表于 2022-5-19 11:27:30

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请教各位大佬：28nm工艺中的N-free DARC，是一种什么材料， N是什么？为什么需要N-free。

谢谢！

likeit9804 · 发表于 2022-6-7 14:33:09

N就是氮，N free就是不含N元素，避免和光阻发生不良反应。

gcwen · 发表于 2022-6-9 09:03:05

likeit9804 发表于 2022-6-7 14:33
N就是氮，N free就是不含N元素，避免和光阻发生不良反应。

谢谢啦！

一起来捣乱 · 发表于 2022-8-18 13:54:23

likeit9804 发表于 2022-6-7 14:33
N就是氮，N free就是不含N元素，避免和光阻发生不良反应。

DARC本身不就是SiON吗，怎么会不含N呢？

midnightseraph · 发表于 2022-9-30 12:31:47

SiOCH

chimo2000 · 发表于 2024-2-2 15:02:09

学习了，谢谢

GIDL · 发表于 2024-2-4 15:19:01

#2 #5 是对的

[求助] 28nm工艺中的N-free DARC