innovus添加Filler时产生了间距小于activeSpacing的filler

xbwpc · 发表于 2021-10-12 21:53:06

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RT，使用setMetalFill 配置对应层的activeSpacing后，添加的filler仍然与走线和via间距小于设定值，产生了不少EOLSpc错误，再ecoroute/optdesign/trimmetalFill/detailroute都不能修掉这些DRC问题，是innovus的filler生成有问题还是我的flow不合理？

macal · 发表于 2021-10-13 10:05:35

可以放个图吗

xbwpc · 发表于 2021-10-13 12:02:05

activeSpacing设的0.122，而图中只有0.051，activeSpacing改更大会有改善，但是靠这个改到没有DRC金属密度就太低了。

macal · 发表于 2021-10-13 14:41:04

金属密度太低也没关系吧，只要没出drc error就没问题。
可以再检查下设置的option。是不是影响到了这个space。

xbwpc · 发表于 2021-10-13 15:02:12

macal 发表于 2021-10-13 14:41
金属密度太低也没关系吧，只要没出drc error就没问题。
可以再检查下设置的option。是不是影响到了这个spac ...

目前改到1.8以后DRC没了，但是C1密度有的区域只有22.5%左右，100x100区域最低是20%，还是挺极限的，全局只能靠其他非数字区域的filler拉上去了。其他选项从文档看都不是影响这个EOL间距相关的。GF的22FDX密度规则太麻烦了。

凡人修仙传 · 发表于 2021-10-13 15:50:28

setPlaceMode -place_detail_instance_*** 有个option 可以控制cell 之间的最小间距。help 一下吧

xbwpc · 发表于 2021-10-13 15:55:51

凡人修仙传发表于 2021-10-13 15:50
setPlaceMode -place_detail_instance_*** 有个option 可以控制cell 之间的最小间距。help 一下吧 ...

这个是控制place阶段的cell间距吧，目前的问题是post route阶段金属filler与走线和via间距小于设定值，不是filler cell，所以应该和place没关系才对？

lzqxiang · 发表于 2021-10-13 16:04:16

把maxlength 和 maxwidth设置的小一点呢？

xbwpc · 发表于 2021-10-13 18:59:41

lzqxiang 发表于 2021-10-13 16:04
把maxlength 和 maxwidth设置的小一点呢？

仍然会有同样问题，maxlength/width是限制filler大小的，不影响与周围的间距。

xbwpc · 发表于 2021-10-13 22:44:44

暂时没有找到正确的解决方法，临时用tcl脚本删掉所有与此类型DRC marker相邻的filler作为workaround。

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