加二极管消除天线效应的位置选择

tfjim · 发表于 2021-7-13 14:02:59

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问题描述：一个gate上接的金属长度超过了天线效应要求的最小长度。比如400um。
解决办法：加二极管消除。
二极管的位置选择：1 距离gate较近，比如在距离gate 10um处；2 距离gate很远。比如在距离gate 390um处。选择这两种不同的做法，DRC都会消除。
问：那种更好？

yanpflove · 发表于 2021-7-14 10:08:55

你好，
这个问题我有点想法，觉得距离gate越近越好。
1，天线效应中，金属收集了一定量的电荷，它是有限的，工艺厂根据理论和实验，划定了一个天线规则，只要满足了规则，我们就应该认为它是安全的。
2，虽然只要放置了二极管，就满足了安全标准，我们还是想追问，放哪儿更好呢？
3，我以为，数百微米长的导线，既连着栅极，也连着二极管；导线中的电荷增多，栅极和二极管承受的电荷压力都在增大，增大到一定阈值，二极管或是正向导通，或是雪崩击穿，都会将电荷泄放到衬底；泄放电荷的目的是为了降低栅极承受的电荷压力，那我画了个图，直观地觉得二极管距离栅极越近，越能更有效率地将栅极附近地电荷泄放掉，更快地降低栅极的压力。
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