关于晶圆烘干的疑问

ShangXinCity · 发表于 2020-1-28 16:16:04

晶圆从Foundry厂拿回来之后，为啥需要先烘干呢？目的是啥？具体烘干的条件和过程是怎样的？需要多长时间呢？

gxliu · 发表于 2020-2-5 16:34:12

除去晶片表面吸附的水分

ShangXinCity · 发表于 2020-2-20 15:52:23

gxliu 发表于 2020-2-5 16:34
除去晶片表面吸附的水分

烘干需要再无氧环境下吗？具体需要哄多长时间有要求吗？

gxliu · 发表于 2020-2-20 22:41:19

ShangXinCity 发表于 2020-2-20 15:52
烘干需要再无氧环境下吗？具体需要哄多长时间有要求吗？

不必无氧环境，时间有要求

ShangXinCity · 发表于 2020-2-22 15:45:02

gxliu 发表于 2020-2-20 22:41
不必无氧环境，时间有要求

是36小时吗？

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