metal和via的材质

leikey · 发表于 2018-3-30 09:17:07

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本帖最后由 leikey 于 2018-3-30 10:18 编辑

最近在做16nm signal EM的分析，发现一个有趣的现象，对于metal而言，rms, peak, avg三个指标都有Limit的值，但是对于via来说只有一个avg的值，所有signal EM的violation都出现在metal上，并没有出现在via上。请教两个问题：
1. 为什么via只有avg的limit值，而没有rms和peak？
2.via和metal的物理材质是不是一样的？metal应该是Cu?
smic 0.18 0.35工艺时候，via好像是钨

chenyongfus · 发表于 2018-3-31 19:49:47

在一些老的工艺中，比如smic 0.18 以上， metal 是AL，via 是钨。从0.13 开始往下， metal 和via都是Cu，而且是双大马士革工艺，即via和上层metal是一步电镀做出来的。比如v1和m2， v2和m3…………本质上是一块metal。

Desingman · 发表于 2018-5-2 16:46:10

thank you for you answer dude

challengersy · 发表于 2021-7-26 09:44:24

chenyongfus 发表于 2018-3-31 19:49
在一些老的工艺中，比如smic 0.18 以上， metal 是AL，via 是钨。从0.13 开始往下， metal 和via都是Cu， ...

赞！！！

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