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[求助] Tsuprem4 如何实现埋氧层

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ljt95
发表于 2017-3-28 15:13:39 | 显示全部楼层 |阅读模式

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想要在VDMOS的Pbody的下面做一层埋氧层，不知道tsuprem4 可以怎么实现？之前看到网上资料说埋氧是通过注入氧离子然后进行氧化实现的，可是tsuprem4 好像不能注入氧离子
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