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查看: 1679|回复: 0

[求助] auto defect classification

发表于 2016-8-5 09:53:25 | 显示全部楼层 |阅读模式

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第一次到这个论坛，不知道发这个版合适吗。想请教各位大牛，有没有人用过KLA-Tencor的DR-SEM系统做过这个瑕疵自动分类的，最近要用他们的机子做硅片上（没有pattern)的瑕疵自动分类，但是好像准确性很难达到，求大牛分享经验。多谢多谢

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