请教关于PAD metal 做slot的问题

xxmule · 发表于 2016-7-26 11:15:36

你们公司做工艺开发吗？问问写rule和工艺开发的人员

回复 7# black小屁

tuohong · 发表于 2016-7-26 11:17:44

1、一般长条的叫slot，镂空的叫hole，当然这个只是习惯叫法；
2、楼主说是pad上的，给的图也比较像在pad上，这个在pad上的一般是从可靠性考虑，可能是从研磨均匀性、大铝效应、BOAC（&CUP）缓解打线应力等方面考虑。早期的process有类似的rule；
3、如果这个是fab没有写而是同事加的，从BOAC(&CUP)缓解bonding应力角度考虑的可能性比较大，可能是基于自己的经验或教训或者是与fab或封装厂沟通基础上加上的。
4、具体的3.3可能是参考他见过的其他的process，或者fab或封装厂的建议。

suly · 发表于 2016-7-26 13:28:51

回复 12# tuohong

请问大铝效应是什么意思谢谢

severdesigner · 发表于 2016-7-26 14:52:43

回复 12# tuohong

请教tuohong: 怎么做IR 和EM？

suly · 发表于 2016-7-26 14:54:20

回复 14# severdesigner

totem

tuohong · 发表于 2016-7-26 15:33:52

回复 15# suly

这个词也是个习惯说法，fab常常给出来的rule，metal>10的，rule会不太一样一点。因为会影响到etch之类的。

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