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01-Introduction MEMS - A Toolbox for Miniaturization (Holden Li, NYTU)
02-Piezoresistive Sensors ‐Principles, Materials, Fabrication and Applications (Holden Li, NYTU)
03-Mechanics and Capacitive Sensors (Holden Li, NYTU)
04-Electrostatic Actuators (Holden Li, NYTU)
05-Thermal MEMS - Sensors and Actuators (Holden Li, NYTU)
06-Piezoelectric MEMS - Sensors and Actuators (Holden Li, NYTU)
07-MEMS Microfabrication - Introduction (Holden Li, NYTU)
08-MEMS Microfabrication - Bulk Micromachining (Holden Li, NYTU)
09-MEMS Microfabrication - Surface Micromachining (Holden Li, NYTU)
10-Packaging of MEMS (Holden Li, NYTU)
11-MEMS Testing and Reliability (Holden Li, NYTU)
新加坡南洋理工MEMS.part1.rar
(14.31 MB, 下载次数: 1374 )
新加坡南洋理工MEMS.part2.rar
(14.31 MB, 下载次数: 1366 )
新加坡南洋理工MEMS.part3.rar
(12.88 MB, 下载次数: 1493 )
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