smic eeprom 的工艺层次含义求指导

ptadx · 发表于 2016-4-21 11:43:49

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小弟刚入手smic018 eeprom的工艺。其中TOW 和ONO两层次，不知道其作用。求高手指导。如果有剖面图说明层次结构，那就再好不过了。谢谢！

bing_bing · 发表于 2016-10-24 11:19:03

ONO (OXIDE NITRIDE OXIDE)氧化层-氮化层-氧化层半导体组件，常以ONO三层结构做为介电质

bing_bing · 发表于 2016-10-24 14:42:28

TOW Define Tunnel Oxide Window Open

maomao198477 · 发表于 2016-10-24 21:12:57

不看工艺文件啊

[求助] smic eeprom 的工艺层次含义求指导