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和欧洲这边交流, 了解了最新的欧洲一些研究, 一篇投稿IEDM的文章,把最关键的部分SHARE 给大家.
SOI circuit on polyimide
通过特殊工艺, 把SOI 下面的SUBSTRATE去除, 然后把POLYIMIDE BONDING 到SOI 的BOX 上, 这样整个电路就很薄, 可以弯曲.
关键的是看一下, 弯曲后, 电路特性是否改变. 根据最新研究结果, 几乎没有任何变化. 也就是说, 可折叠的电路工艺在SOI上会看到很多的应用. 以上信息, 希望对国内研究电路的有帮助.
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