电子束修改芯片内部金属线

小支 · 发表于 2015-7-1 10:01:52

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本帖最后由小支于 2015-7-1 10:03 编辑

一般芯片做好后，如果想要改变芯片某一块金属层或金属线走向，通常只能重新流片，但是最近听说可以尝试使用特定的电子束或离子束通过注入芯片内部，可以改变特定的金属部位，大家是否有了解？

小支 · 发表于 2015-7-1 10:04:27

本帖最后由小支于 2015-7-4 15:15 编辑

回复 1# 小支

当然，属于裸片范畴

小支 · 发表于 2015-7-4 15:17:12

回复 2# 小支

FIB : Fast Ion Beam

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