SMIC130 的METAL SLOT

杀手1983 · 发表于 2015-6-8 22:30:04

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SMIC130nm工艺的metal slot有没有经验值啊，求指导，多谢啊

icfbicfb · 发表于 2015-6-9 07:16:39

没搞过，没有必要开slot，金属画细点就行

lwq_119 · 发表于 2015-6-9 09:17:29

回复 1# 杀手1983

其实就随意按照电流方向挖几个洞洞就行了大小要完全一样

tb0403 · 发表于 2015-6-14 21:46:37

这个工艺的drc文件中有solt规则检查的，但是用mark layer在金属上slot。我同事从来没有这样做，随意画的也从来没出过什么事情。

icfbicfb · 发表于 2015-6-15 11:30:07

mpw 无所谓的，量产时候看下

[求助] SMIC130 的METAL SLOT