Silvaco中poly衬底的掺杂问题

发表于 2015-1-15 14:40:32 | 显示全部楼层 |阅读模式

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本帖最后由 fjlanx2 于 2015-1-15 14:42 编辑

初学Silvaco，想要仿真LCD-TFT器件，用的是poly-silicon衬底，可是我发现poly衬底无法掺杂，这是为什么？如下图所示，同样的条件下，可以很清楚地看到Si衬底被掺杂进去了，可是poly却掺杂不进去。

poly衬底

si衬底

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