Poly Efuse如何确认已经熔断

henryshen2000 · 发表于 2016-8-19 17:43:27

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用Poly做的Efuse ，怀疑没有熔断，读取数据时不正确，有没有其它方法可以确认？
如果是Metal做的Efuse，在显微镜下可以看到明显的熔断痕迹，但是Poly似乎不明显。

求有经验的指点！！！

math123 · 发表于 2016-8-19 18:14:38

对比了下，poly熔断的痕迹还是明显的吧

chengji1999 · 发表于 2016-8-21 17:16:02

fuse两端有PAD的，直接测一下电阻就行

henryshen2000 · 发表于 2016-8-22 10:45:23

多谢math123，看来应该是我们检测的点确实没有熔断。
也谢谢chengji1999，没办法直接测，因为金属在下层没法直接测到，测试需要另外做PROBE点！

weichunniu · 发表于 2021-1-11 08:55:34

设计要有可测性,要不然debug会头疼.DFT很重要

christ0426 · 发表于 2021-10-11 13:54:23

学习一下

jeffej · 发表于 2022-6-29 16:34:48

very good answer

mikeyyan · 发表于 2023-3-2 19:05:31

熔断是熔丝电阻变得很大，真实的熔丝在编程后都会有电阻值增大的变化，如果变化小了，容易出现逻辑判断错误，因此设计时都希望熔丝发生熔断。其实不熔断也是可以的。只要efuse中读电路的判断阈值比较小就行。

grace-luo · 发表于 2024-8-10 15:21:34

henryshen2000 发表于 2016-8-22 10:45
多谢math123，看来应该是我们检测的点确实没有熔断。
也谢谢chengji1999，没办法直接测，因为金属在下层没 ...

问一下，你们是怎么检测出没有熔断的？还请分享一下

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