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楼主: 胖大海1991

[求助] 多晶硅也分N+掺杂和P+掺杂吗

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发表于 2022-11-17 10:58:04 | 显示全部楼层
多晶掺杂不一样影响功函数,从而影响VTH。一般NMOS是N Poly, PMOS P poly
发表于 2022-12-6 09:29:42 | 显示全部楼层
楼上说的对,NMOS的gate要打成N poly,P的要打成P poly,这个过程一般的N+/P+ implant会完成,有些会做gate的 pre-doping,至于反相器的N+,P+的界面会形成PN junction,这个没有关系,因为gate都是salicide的,salicide里就不存在PN junction了。
发表于 2023-3-28 11:10:24 | 显示全部楼层
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