多晶硅也分N+掺杂和P+掺杂吗

CZY_2020 · 发表于 2022-11-17 10:58:04

多晶掺杂不一样影响功函数，从而影响VTH。一般NMOS是N Poly, PMOS P poly

ahhanliang · 发表于 2022-12-6 09:29:42

楼上说的对，NMOS的gate要打成N poly，P的要打成P poly，这个过程一般的N+/P+ implant会完成，有些会做gate的 pre-doping，至于反相器的N+,P+的界面会形成PN junction，这个没有关系，因为gate都是salicide的，salicide里就不存在PN junction了。

us2393 · 发表于 2023-3-28 11:10:24

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