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EETOP 创芯网论坛 (原名：电子顶级开发网)»论坛 › IC 设计及制造（半导体、微电子） › 集成电路生产/封装/工艺 › 生产/封装资料区 › Principles of lithography
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查看: 2770|回复: 8

[资料] Principles of lithography

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temp15555
发表于 2014-12-28 19:10:50 | 显示全部楼层 |阅读模式

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Lithography, Principles

Principles of lithography.pdf

2.02 MB, 下载次数: 106 , 下载积分: 资产 -2 信元, 下载支出 2 信元

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highlywood1983
发表于 2014-12-28 21:17:11 | 显示全部楼层
多谢分享！
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hezeren
发表于 2014-12-28 22:56:27 | 显示全部楼层
基础资料，值得一看
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waveguides
发表于 2014-12-29 13:28:28 | 显示全部楼层
请介绍一下吧
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temp15555
 楼主| 发表于 2015-1-2 09:30:55 | 显示全部楼层
litho相关的书

6. Field Guide to Optical Lithography_by Chris A. Mack (2006).pdf

3.8 MB, 下载次数: 13 , 下载积分: 资产 -2 信元, 下载支出 2 信元
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zhaoshukun
发表于 2015-8-15 16:12:07 | 显示全部楼层
非常不错，言简意赅
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rnysun
发表于 2016-6-29 12:33:47 | 显示全部楼层
thanks......
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XFET2018
发表于 2018-8-23 18:35:44 | 显示全部楼层
good, tkx
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felicris
发表于 2019-4-20 19:46:11 | 显示全部楼层
Thanks
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