请教smic或tsmc 65nm，40nm，22nm工艺下的金属层及ILD厚度

nbaman

你可以看下Design Rule, 简称DR

XXXXavier

娴酱 发表于 2025-2-17 17:09
shrink 0.7是什么意思啊

摩尔定律关键尺寸缩小0.7，等比例缩小的情况下，ILD也相应缩小0.7倍

娴酱

XXXXavier 发表于 2025-3-26 23:14
摩尔定律关键尺寸缩小0.7，等比例缩小的情况下，ILD也相应缩小0.7倍

IDL是什么意思啊

52eetob

​ILD（Inter Layer Dielectric，层间介质层）​是用于隔离器件层（如晶体管、多晶硅栅等）与第一层金属互连的关键绝缘层，其核心功能是防止不同层之间的电气短路，并优化电路性能。
​功能​：

​电气隔离​：将底层的器件（如晶体管、源漏区）与上层的金属互连线物理隔离，避免短路。
​平坦化​：通过填充器件层与金属层之间的高度差，为后续金属布线提供平滑表面。
​保护器件​：防止金属层中的杂质（如硼、磷）向下扩散，影响器件特性