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[讨论] Metal Gate silvaco simulation

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玉道老人
发表于 2014-8-20 14:39:23 | 显示全部楼层 |阅读模式

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最近正在仿真传统的Metal Gate产品，L=2.0um的低压Metal Gate。用铝硅铜做栅极，Gate Oxide为590A，请问silvaco仿真中的接触特性，contact  name=gate  workfunction=？这个功函数设置为多少比较好，查datasheet，纯铝的功函数为4.28，但是铝硅铜没有说明，另外这里的功函数需要再加上势垒吗？
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