有做过20nm以下的吗？

2004changhe · 发表于 2014-3-21 14:01:31

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相比28nm有何挑战哇？

icfbicfb · 发表于 2014-3-21 15:50:22

有什么问题么，主要是double pattern，方法比较复杂吧，比28nm事情多多了，

ryry17 · 发表于 2014-3-21 22:42:30

base clean， min Vt

lyfztz · 发表于 2014-3-22 06:50:19

楼上的两位大侠，可以具体分享一下吗？28nm以下工艺和设计具体会遇到哪些挑战?
非常感谢！

混乱三千年 · 发表于 2014-3-24 12:55:44

特点是dobule pattern吧 drc 规则复杂

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