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EETOP 创芯网论坛 (原名：电子顶级开发网)»论坛 › IC 设计及制造（半导体、微电子） › MEMS(微机电系统) › MEMS资料区 › surface processes in MEMS technology
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查看: 2579|回复: 7

[资料] surface processes in MEMS technology

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kofkoy2000
发表于 2013-10-1 22:35:51 | 显示全部楼层 |阅读模式

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综述，详细介绍了表面微机械工艺中的一个重要问题，粘连。
Technology, 机械

Maboudian_surface_processes[1].pdf

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xuleiwx
发表于 2014-8-9 22:27:44 | 显示全部楼层
是1997年的东西
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tianyin20002008
发表于 2014-8-12 20:26:11 | 显示全部楼层
好老的东西！！！
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ralphtw
发表于 2014-11-21 14:05:02 | 显示全部楼层
surface processes in MEMS technology
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caltech_usa
发表于 2016-11-2 11:56:16 | 显示全部楼层
回复 4# ralphtw


    谢谢啊暗暗啊啊暗暗
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zhyu101
发表于 2016-12-18 12:45:16 | 显示全部楼层
表面粘结联合问题
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dannyyip
发表于 2017-9-13 13:11:07 | 显示全部楼层
谢谢楼主
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yuzhi
发表于 2017-9-13 20:58:27 | 显示全部楼层
x谢谢了
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