mask

lianaissmec · 发表于 2013-8-26 16:45:54

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附件中是从厂家的mask tooling table中截取的两个层次，以及本人不明白的地方，希望知道的人回复一下

lianaissmec · 发表于 2013-8-28 09:50:56

上面的表在一行之内放不下，所以放到下面来了，上表是从工艺厂家的mask tooling table中截取的，其中的ACT是源区，有以下问题请教各位
1 是ACTR的产生方式怎么是那样的，在我的理解中，应该是除了ACT之外都是ACTR
2 mask grade代表的意义是什么，分成几类，每类的特点
3 operation for product 和operation for scribe line test key的区别与联系
4 photo thickness 代表的意思是什么，DUV与I-line的区别

lianaissmec · 发表于 2013-8-28 09:55:32

我都没有注意到，怎么问题附件都要钱了,现在这个下载下
来不要钱了，另外我在发帖的过程中怎么不能贴图片呢

lianaissmec · 发表于 2013-8-28 09:57:22

看看这个下载还需要钱吗

[讨论] mask

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