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[讨论] mask

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发表于 2013-8-26 16:45:54 | 显示全部楼层 |阅读模式

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附件中是从厂家的mask tooling table中截取的两个层次,以及本人不明白的地方,希望知道的人回复一下

mask.doc

95 KB, 下载次数: 32 , 下载积分: 资产 -2 信元, 下载支出 2 信元

 楼主| 发表于 2013-8-28 09:50:56 | 显示全部楼层
上面的表在一行之内放不下,所以放到下面来了,上表是从工艺厂家的mask tooling table中截取的,其中的ACT是源区,有以下问题请教各位
1 是ACTR的产生方式怎么是那样的,在我的理解中,应该是除了ACT之外都是ACTR
2 mask grade代表的意义是什么,分成几类,每类的特点
3 operation for product 和operation for scribe line test key的区别与联系
4 photo thickness 代表的意思是什么,DUV与I-line的区别
 楼主| 发表于 2013-8-28 09:55:32 | 显示全部楼层
我都没有注意到,怎么问题附件都要钱了,现在这个下载下
来不要钱了,另外我在发帖的过程中怎么不能贴图片呢

eetop[1].cn_mask.doc

95 KB, 下载次数: 6 , 下载积分: 资产 -2 信元, 下载支出 2 信元

 楼主| 发表于 2013-8-28 09:57:22 | 显示全部楼层
看看这个下载还需要钱吗

eetop[1].cn_mask.doc

95 KB, 下载次数: 5 , 下载积分: 资产 -2 信元, 下载支出 2 信元

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