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查看: 2389|回复: 6

[求助] 求助:有谁用过Silvaco模拟sic的工艺吗?

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发表于 2013-8-5 00:28:43 | 显示全部楼层 |阅读模式

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现在需要用silvaco模拟sic的工艺。
和si工艺相比,需要注意些什么?比如要向sic中注入离子,该怎么办?为什么我尝试了下implant,发现并没有将离子注入到sic上。
谢谢大家!
发表于 2013-8-26 16:51:12 | 显示全部楼层
同样的问题,顶一个
发表于 2013-9-13 22:09:34 | 显示全部楼层
真心问,silvaco和sentaurus的区别在哪?
发表于 2013-12-2 10:52:02 | 显示全部楼层
好东西,赞一个
发表于 2014-3-6 14:45:39 | 显示全部楼层
可能08以前的版本不能仿真,不知道新出的版本是不是可以?
发表于 2014-3-17 10:00:53 | 显示全部楼层
我也在做sic特性的研究,顶一个
发表于 2014-4-14 11:04:02 | 显示全部楼层
手册里貌似blaze那一章有专门介绍sic的,要么就是material里面,自己找找看
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