掩膜版共用问题

gao2004j · 发表于 2013-7-1 15:15:20

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请问：
半导体制造工艺中，做mos阈值电压调整的Vt调整注入用的掩膜板和多晶硅掩膜板是同一块掩膜版吗？谢谢！

lianaissmec · 发表于 2015-1-27 11:15:52

注意看工艺文档，一般来说，整个工艺拉偏不需要另外增加掩膜，但是如果芯片中要用到多种不同开启电压的管子，就要增加掩膜

icfbicfb · 发表于 2015-1-27 13:36:35

具体看mt form，不同的fab，process不一样的，怎么说呢

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