MEME简单概念

亲爱的伽利略 · 发表于 2013-5-5 22:57:17

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微机电系统（MEMS）不仅是一个微小型系统，同时它还是一种新的概念，一门新兴的科学和技术。微小型系统是指的是它的尺度减小，然而有的功能相比宏观系统非但没有减弱，反而更高，如微加速度计、微压力传感器，它带来的好处是体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、价格便宜等；新概念指的是：MEMS如同微电子技术的孪生兄弟，如果说微电子处理的仅仅是电信号，MEMS处理的对象更为广泛，它作为传感器，可以感应外界状态量（运动、磁、温度、力、压强、光、电、化学等），作为执行器，它可以去改变外界的状态量；新的科学与技术，指的是由于尺度的减小，造成的一些现象与宏观领域存在很大的不同，这称为尺度效应（scale effects），如由于尺度的减小，是的微观系统中表面力变得更为显著，这是一个需要研究的科学问题，同时MEMS还应用了大量的新技术，如：新的加工工艺（体微加工、LiGA、深度反应离子刻蚀、新型键合技术等）。