关于mask文档的问题

abc61978 · 发表于 2013-4-16 12:25:20

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mask文档图片

上面图片的地第五，八，十列怎么理解？望知道的人能够详细说明一下。谢谢啊！

蘑菇要冷静 · 发表于 2013-4-16 17:19:49

本帖最后由蘑菇要冷静于 2013-4-16 17:25 编辑

是 DARK CLEAR 掩模板上的明区和暗区。 clear 是透光的，dark 区涂了铬不透光。clear区域，会被曝光，光刻胶（正胶）的溶解性发生改变，可以被洗去。就可以得到图形。

abc61978 · 发表于 2013-4-17 08:58:05

就在这个图片里能看出是用正胶还是反胶吗？

2hen · 发表于 2013-4-28 12:36:00

就clear,dark那些可以看出来。

zphcd · 发表于 2013-4-30 11:50:57

一楼说的比较清楚

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