哪位大牛给俺说说啥是自对准工艺啊？感谢！

zhuyujun · 发表于 2013-3-6 09:48:29

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本帖最后由 zhuyujun 于 2013-3-6 10:04 编辑

哪位大牛给俺说说啥是自对准工艺啊？感谢！

louis506660842 · 发表于 2013-3-6 18:00:58

self-aligned指对于MOS结构正在使用的以氧化层作为掩蔽进行的S/D掺杂，之前是首先掺杂然后在刻蚀氧化层。

sczh01 · 发表于 2013-3-12 08:51:39

楼主是指设备还是指加工的工艺太模糊啦

945996118@qq.co · 发表于 2013-3-19 14:39:28

我也想知道~~

raochy · 发表于 2013-4-11 20:28:47

自对准的意思是：先做多晶硅栅，然后刻蚀形成P-base和N+源极的注入窗口，此时，该多晶硅为离子注入的阻挡板。当离子注入完成后，P-base和N+源极在多晶边缘处是基本重合的，所以此时没有沟道，需要再经过推结过程，利用N和P的扩散系数不同，P区会扩散得比N区宽，此时便可形成沟道。这种方法就是自对准。