哪位大牛给俺说说啥是自对准工艺啊？感谢！

dafu02nk · 发表于 2021-8-12 11:37:00

其实还是有蛮多的自对准工艺的，不知道你说的是哪种？SASTI?

ahhanliang · 发表于 2021-10-21 16:40:56

自对准可以应用在多个loop，最典型的是salicide，金属硅化物，把需要形成硅化物的地方露出来，不形成的地方用oxide/SiN 盖住，另外，double patterning也叫SADP，self-align double pattern，还有self-aligned CT，子对准在半导体领域中的应用比较广，甚至有些gate poly都是自对准工艺形成的

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