计算跨导时，栅氧层电容Cox值取多少

zhenglibin86 · 发表于 2014-4-11 16:39:01

好像是一个工艺库 Cox的值就相对是固定的；

SHAOJIHUA1234@1 · 发表于 2019-3-20 15:25:42

学习中

subofu1998 · 发表于 2020-2-17 11:33:35

cyl 发表于 2013-1-21 18:39
Cox=εr*ε0*S/tox;
ε0=8.85*10^(-12),真空介电常数;
εr=3.9,二氧化硅的相对介电常数；

单位面积怎么理解的

lyjwwh · 发表于 2020-6-24 09:37:12

qiwentuo 发表于 2013-6-25 15:21
一般而言，对于0.5um的工艺，Cox大约是3.4fF/平方微米，L越小，Cox应该以同样的比例增加。 ...

cox不是单位面积的电容么？怎么与管子的L有关系了？0.5um的工艺

故事的小黄花 · 发表于 2020-7-10 11:31:40

lyjwwh 发表于 2020-6-24 09:37
cox不是单位面积的电容么？怎么与管子的L有关系了？0.5um的工艺

我实际仿真管子时发现Cox确实与L有关，但是目前还不知道为什么

模拟电路入门者 · 发表于 2022-2-26 13:06:37

到底是为甚不一样啊
求解答

kaedegong · 发表于 2022-2-27 02:11:57

因为最小L和TOX 相关，所以会看到cox于L相关。Cox是单位电容，和器件面积无关

Sxiaojie · 发表于 2022-12-21 14:21:20

Cox=Eox/tox，前者计算大概3.45x10(-11) F/m, 后者书上是不是给了1nm

永远喜欢森rua · 发表于 2023-6-3 15:23:24

天牛不唱歌发表于 2013-1-20 17:41
(介电常数*8.854*10e-12) / tox
用这个公式，工艺不同tox不同，一般sansen认为 tox=Lmin/50 但是也不尽然。 ...

这个应该是相对介电常数，介电常数就直接除以tox就行了

[求助] 计算跨导时，栅氧层电容Cox值取多少