tsmc工艺中射频用一类底下没有金属的mim电容(mimcap without underground metal),symbol中有三个端子,分别为plus,minus和bulk。从版图来看,bulk连接一个N阱,请问这个是不是应该接高电位?在版图中我不论是接高电位还是低电位,Calibre LVS时总是报ERC的错,显示为floating.psub, 解释为psub is not connected to GROUND.请问高人,是不是这个电容还存在一个衬底端子?该ERC问题该怎么解决?谢谢