IGBT器件退火工艺

ayomi · 发表于 2012-8-16 16:51:39

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IGBT器件退火工艺，现在高温退火效果怎么样？具体参数要求？激光退火有国内厂家用的么？谢谢了~

ayomi · 发表于 2012-8-30 11:11:31

顶一下，希望有了解的进来解答下！

xhwubai · 发表于 2012-11-8 22:18:27

俺只知道，激光退火用于40nm以下的cmos工艺中。

ayomi · 发表于 2012-11-14 09:37:14

回复 3# xhwubai

你啊知道目前有哪家企业实际使用么？谢谢了~

306836621 · 发表于 2012-11-17 10:53:57

激光退火设备国内还没有那家愿意买啊

xhwubai · 发表于 2012-12-14 21:51:36

回复 4# ayomi

sorry...不是很清楚

lydh123 · 发表于 2013-8-9 10:48:22

还没有见过激光退火的！求高人

thelordofhell · 发表于 2013-12-10 19:08:41

顶一下，同求

小贤 · 发表于 2013-12-11 10:07:00

thaks

[求助] IGBT器件退火工艺