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楼主: zq890520

[原创] 菜鸟 请问 为什么宽铝线需要画slot啊

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发表于 2012-5-2 16:05:57 | 显示全部楼层
应力问题,好好查查
发表于 2012-5-3 16:19:52 | 显示全部楼层
应该还有减缓metal dishing的考量
发表于 2018-12-17 18:17:55 | 显示全部楼层
发表于 2018-12-22 11:12:16 | 显示全部楼层
类似于热胀冷缩
发表于 2018-12-23 08:39:04 | 显示全部楼层
谢谢楼主分享
发表于 2019-1-31 10:18:32 | 显示全部楼层
据我了解是因为工艺原因吧,金属块太大了工厂是没办法做到整个都很平整,其实也不光是铝吧,金属都这样。
发表于 2019-9-3 21:28:14 | 显示全部楼层
学到了,xieixie
发表于 2019-9-12 14:47:56 | 显示全部楼层
金属传导电流时会发热就会导致膨胀。如果是一大片金属的话就会有鼓起变形的现象从而
影响到芯片,用 slot 的话就可以防止这种现象。可以提高芯片良率以及可靠性,防止老化过快。
发表于 2022-9-26 10:18:41 | 显示全部楼层
一个问题  
工艺中写的是 Max Metal width without slotting  8kKA/12KA情况小于等于35um  25KA/35KA/情况小于80um
其中的KA指的是什么?
指的宽是与MOS管相同吗?即竖着的为宽; 或者是常规意义上的宽 也就是 我的金属35×35需要slot 而34×35是个矩形就不需要slot?
发表于 2024-4-3 15:31:05 | 显示全部楼层


Mazhaolong 发表于 2022-9-26 10:18
一个问题  
工艺中写的是 Max Metal width without slotting  8kKA/12KA情况小于等于35um  25KA/35KA/情况 ...


KA是指千埃=10的-7次方,这里是指的金属层厚度,12KA对应1.2um厚度。
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