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Silvaco

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woaijoyce
发表于 2011-11-4 19:05:41 | 显示全部楼层 |阅读模式

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遇到一个问题：
我用这个语句
deposit POLYSILICON temp=600 thickness=0.5 C.ARSENIC=5E20  divisions=20

然后经过多次退火，这个POLYSILICON里的As浓度降低到E17，我用Sentaurus没有遇到这个问题。谁能教我？！
deposit, 退火

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