sentaurus 2013 sprocess deposit厚度过小出错？求解决

qfliuyang · 发表于 2013-11-22 11:14:57

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x

** Error **
Deposition operation failed !

... aborting
terminate called after throwing an instance of 'std::logic_error'
what(): TbStopwatch::stop must be called pair-wise with TbStopwatch::start.
started with id = 86(mgoals)
stopped with id = 12(deposit command)

** Error **
Internal error !

... aborting

运行的是sentaurus 2013官方的CMOS工艺例子，每次deposit 1.4nm的oxide时就卡住，然后很长一段时间后就显示以上的错误。经过试验，淀积厚度增加到9nm以上的时候不会出错

qfliuyang · 发表于 2013-11-22 12:11:58

现在先deposit然后etch曲线把这个错误绕过了。。。谁知道是怎么回事呢？

zhaojingxiyang · 发表于 2014-10-9 19:21:50

不知道

sentaurus 2013 sprocess deposit厚度过小出错？求解决

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