关于金属覆盖率

guozhuoqi · 发表于 2011-7-20 13:08:02

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请教大家一个问题，为什么layout中对金属覆盖率有要求？覆盖率的高低对性能有什么影响？

cherry_li · 发表于 2011-7-20 16:20:29

你说的是金属密度吧，金属密度一般foundry 都会给出一个范围值得，主要是出于对化学机械研磨（CMP ）的影响考虑

cherry_li · 发表于 2011-7-20 16:27:29

还有就是密度太高的话，可能会造成过刻蚀，不该刻蚀的被刻蚀掉了，太低又可能造成刻蚀不够，有的没有刻蚀掉

guozhuoqi · 发表于 2011-7-20 20:50:16

多谢指点！

guozhuoqi · 发表于 2011-7-20 20:53:18

多谢指点！

allen_tang · 发表于 2011-7-21 09:07:05

CMP研磨工艺，metal密度不够会造成金属碟化和金属层侵蚀效应，影响研磨效果而造成metal厚度不均匀，影响可靠性。

mickey1999 · 发表于 2011-7-22 10:54:41

It's main effect the transparent of the light which will effect the etch rate during processing

citynight · 发表于 2011-8-1 11:24:07

那金属覆盖率的问题一般怎么解决的呢

guozhuoqi · 发表于 2011-8-1 13:21:38

加宽金属应该能改善一些吧。

没头绪 · 发表于 2011-8-4 17:23:31

原来这样啊，学习了

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