关于金属覆盖率

phosphor · 发表于 2011-8-4 23:04:07

现在都有专门的脚本用以填充Dummy Metal以及OD、POLY
可以选择不同的方式填充，在关心的地方可以填上阻挡层避免Dummy层的覆盖

icfbicfb · 发表于 2011-8-10 17:14:24

加dummy metal，一般有runset来run的，

扯扯29 · 发表于 2011-8-11 16:58:36

应力的要求

wangboxxf · 发表于 2011-8-18 20:33:09

那如果覆盖率达到70% 是不是太高了

tweety138545 · 发表于 2011-8-20 18:12:49

指教了，补充了知识呢

司徒温孤 · 发表于 2011-8-23 10:18:07

学习了啊，呵呵

关东客 · 发表于 2011-8-23 12:36:22

luguoluguo

enjoy545352 · 发表于 2011-9-11 13:17:48

受教了，谢谢！！

icfbicfb · 发表于 2011-9-13 16:48:33

能加就尽量加一些吧，比如用calibre的runset，

这个在65下 DFM 的要求还是很高的

skchen_001 · 发表于 2011-12-7 17:52:47

工艺厂在制造芯片的时候，腐蚀液在刻蚀金属的时候，如果金属密度不够，有可能会把其刻蚀断，所以需要一定的金属密度

[求助] 关于金属覆盖率