fuse window可以用pad window来做吗？

blay_chen · 发表于 2011-4-13 15:01:11

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有人用过metal fuse吗？
fuse window可以用pad window来做吗？
还是必须fuse window？

blay_chen · 发表于 2011-4-13 15:04:28

没人，自己顶一个

CDS · 发表于 2011-4-14 17:29:30

没懂你的意思，“fuse window可以用pad window来做吗？还是必须fuse window？”还有单独的fuse window层吗？没见过。foundry都会有FUSE的design rule提供的。fuse上面一般是要用PAD层打开的，保证FUSE烧断后metal挥发出来。否则可能会导致metal烧掉后又短路，或表面钝化层开裂使芯片失效。但也有foundry fuse上不打开的，好处就是不会因为fuse上面开窗侵蚀芯片内部电路。这要看foundry工艺怎么做稳定了。

blay_chen · 发表于 2012-2-22 10:26:39

是，谢谢
用PAD window打开，有好处也有坏处，所以有foundry有专门的fuse window，它可以使metal烧掉后不短路，window上面也不是完全开窗使芯片受侵蚀

hvpower · 发表于 2012-2-22 11:21:03

LZ 联系代工厂叫他们给你提供规则

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