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Foundry提供一种服务,允许客户在量产工艺加工进行到某个阶段的时候,让部分wafer暂时停止,而部分wafer继续加工。 这样的话,客户可以在加工到poly层时(后面的金属层还没有做),停止大部分wafer的进程,而让少量wafer继续加工到完成,然后对这些已完成的wafer上的die进行测试,如果发现有功能或时序上的问题,就可能通过预先布在die上的 Spare cell来解决。 只是改动几层金属层光罩就可以完成std cell重新连接,而不用改动std cell的布局(要改poly层之前的所有光罩)。那些暂停加工的wafer这时就可以用新的金属层光罩往后加工,于是在silicon和光罩两方面都降低了成本。 有时为了验证重连金属是否真的能解决问题,会在前面提到的先一步加工完的有问题die上进行FIB(Focus Iron Beam)操作,能够在不影响其它金属布线的前提下,打断有问题的金属连接,建立金属连接到合适的spare cell上,然后在测试die,如果再没有其它问题的话,就说明之前的金属重连接方案是可行的,这时再重新做金属层光罩就会更有把握些。 然而要能进行FIB就必须在tapeout前对spare cell的金属连线方式做特殊处理。一般我们都把spare cell的输入输出端逻辑上接VDD或VSS,这样在后端工具自动布线时就会将spare cell的输入输出pin接到临近的VDD或VSS rail上,而rail是metal 1,对于FIB而言,这个连接太深了。为方便更改连接,还是应该让从spare cell输入输出pin引出的金属线连接到顶层金属层上。 |