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微电子制造科学原理与工程技术 中文

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发表于 2009-4-5 10:37:01 | 显示全部楼层 |阅读模式

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目录
第1篇 综述与题材
 第1章 微电子制造引论
 第2章 半导体衬底
第2篇 单项工艺I:热处理和离子注入
 第3章 扩散
 第4章 热氧化
 第5章 离子注入
 第6章 快速热处理
第3篇 单项工艺2:图形转移
 第7章 光学光刻
 第8章 光刻胶
 第9章 非光学光刻技术
 第10章 真空科学和等离子体
 第11章 刻蚀
第4篇 单项工艺3:薄膜
 第12章 物理淀积:蒸发和溅射
 第13章 化学气相淀积
 第14章 外延生长
第5篇 工 艺 集 成
 第15章 器件隔离、接触和金属化
 第16章 CMOS技术
 第17章 GaAs工艺技术
 第18章 硅双极型工艺技术
 第19章 微机电系统
 第20章 集成电路制造
附录A 缩写与通用符号
附录B 部分半导体材料性质
附录C 物理常数
附录D 单位转换因子
附录E 误差函数的一些性质
附录F F数
附录G SUPREM指令

微电子制造科学原理与工程技术 中文.part01.rar

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 楼主| 发表于 2009-4-5 11:04:34 | 显示全部楼层
part2

微电子制造科学原理与工程技术 中文.part02.rar

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 楼主| 发表于 2009-4-5 11:10:53 | 显示全部楼层
part3

微电子制造科学原理与工程技术 中文.part03.rar

4.1 MB, 下载次数: 768 , 下载积分: 资产 -3 信元, 下载支出 3 信元

 楼主| 发表于 2009-4-5 11:22:00 | 显示全部楼层
part4

微电子制造科学原理与工程技术 中文.part04.rar

4.1 MB, 下载次数: 782 , 下载积分: 资产 -3 信元, 下载支出 3 信元

 楼主| 发表于 2009-4-5 11:28:22 | 显示全部楼层
part5

微电子制造科学原理与工程技术 中文.part05.rar

4.1 MB, 下载次数: 936 , 下载积分: 资产 -3 信元, 下载支出 3 信元

 楼主| 发表于 2009-4-5 11:53:11 | 显示全部楼层
part6

微电子制造科学原理与工程技术 中文.part06.rar

4.1 MB, 下载次数: 721 , 下载积分: 资产 -3 信元, 下载支出 3 信元

 楼主| 发表于 2009-4-5 11:58:32 | 显示全部楼层
part7

微电子制造科学原理与工程技术 中文.part07.rar

4.1 MB, 下载次数: 622 , 下载积分: 资产 -3 信元, 下载支出 3 信元

 楼主| 发表于 2009-4-5 12:24:24 | 显示全部楼层
part8

微电子制造科学原理与工程技术 中文.part08.rar

2.49 MB, 下载次数: 556 , 下载积分: 资产 -2 信元, 下载支出 2 信元

发表于 2009-4-5 12:32:11 | 显示全部楼层
thanks a lot
发表于 2009-5-23 19:29:33 | 显示全部楼层
THANK YOU VERY MUCH
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