Well-Proximity Model for 90nm and below

littlej

[size=89%]1.Well implant ions would scatter at well PR edge, bounce into the active region and thus increase device threshold voltage.
[size=89%]2.This effect is process dependent. It is related to the oxide thickness, the channel doping profile of the devices, well implant dose density and energy.
It could be also slightly W and L dependent.
[size=89%]3.In addition to Vth, well proximity effect might also change body effect and equivalent mobility more or less.
[size=89%]4.Therefore, it is better to keep this model in SPICE model cards and simulators. What LPE tools need to do is to pass one more instance parameter, SC (average distance between MOS and well edge) , to the simulator as proposed in the following slides.

superrabbit

THANKS

superrabbit

need money

s8553warrior

感谢楼主分享！

lee_0314

So good, thanks a lot

armmips

Thanks for sharing

armmips

Thanks for sharing

tanex

* BPTM 45nm NMOS
.model  nmos  nmos  level = 54
+version = 4.0          binunit = 1            paramchk= 1            mobmod  = 0         
+capmod  = 2            igcmod  = 1            igbmod  = 1            geomod  = 1         
+diomod  = 1            rdsmod  = 0            rbodymod= 1            rgatemod= 1         
+permod  = 1            acnqsmod= 0            trnqsmod= 0         
+tnom    = 27           toxe    = 1.4e-009     toxp    = 7e-010       toxm    = 1.4e-009   
+dtox    = 0            epsrox  = 3.9          wint    = 5e-009       lint    = 1.2e-008   
+ll      = 0            wl      = 0            lln     = 1            wln     = 1         
+lw      = 0            ww      = 0            lwn     = 1            wwn     = 1         
+lwl     = 0            wwl     = 0            xpart   = 0            toxref  = 1.4e-009   
+vth0    = 0.22         k1      = 0.35         k2      = 0.05         k3      = 0         
+k3b     = 0            w0      = 2.5e-006     dvt0    = 2.8          dvt1    = 0.52      
+dvt2    = -0.032       dvt0w   = 0            dvt1w   = 0            dvt2w   = 0         
+dsub    = 2            minv    = 0.05         voffl   = 0            dvtp0   = 1e-007     
+dvtp1   = 0.05         lpe0    = 5.75e-008    lpeb    = 2.3e-010     xj      = 2e-008     
+ngate   = 5e+020       ndep    = 2.8e+018     nsd     = 1e+020       phin    = 0         
+cdsc    = 0.0002       cdscb   = 0            cdscd   = 0            cit     = 0         
+voff    = -0.15        nfactor = 1.2          eta0    = 0.15         etab    = 0         
+vfb     = -0.55        u0      = 0.032        ua      = 1.6e-010     ub      = 1.1e-017   
+uc      = -3e-011      vsat    = 1.1e+005     a0      = 2            ags     = 1e-020     
+a1      = 0            a2      = 1            b0      = -1e-020      b1      = 0         
+keta    = 0.04         dwg     = 0            dwb     = 0            pclm    = 0.18      
+pdiblc1 = 0.028        pdiblc2 = 0.022        pdiblcb = -0.005       drout   = 0.45      
+pvag    = 1e-020       delta   = 0.01         pscbe1  = 8.14e+008    pscbe2  = 1e-007     
+fprout  = 0.2          pdits   = 0.2          pditsd  = 0.23         pditsl  = 2.3e+006   
+rsh     = 3            rdsw    = 150          rsw     = 150          rdw     = 150        
+rdswmin = 0            rdwmin  = 0            rswmin  = 0            prwg    = 0         
+prwb    = 6.8e-011     wr      = 1            alpha0  = 0.074        alpha1  = 0.005      
+beta0   = 30           agidl   = 0.0002       bgidl   = 2.1e+009     cgidl   = 0.0002     
+egidl   = 0.8         
+aigbacc = 0.012        bigbacc = 0.0028       cigbacc = 0.002
+nigbacc = 1            aigbinv = 0.014        bigbinv = 0.004        cigbinv = 0.004
+eigbinv = 1.1          nigbinv = 3            aigc    = 0.012        bigc    = 0.0028
+cigc    = 0.002        aigsd   = 0.012        bigsd   = 0.0028       cigsd   = 0.002
+nigc    = 1            poxedge = 1            pigcd   = 1            ntox    = 1
+xrcrg1  = 12           xrcrg2  = 5         
+cgso    = 6.238e-010   cgdo    = 6.238e-010   cgbo    = 2.56e-011    cgdl    = 2.495e-10     
+cgsl    = 2.495e-10    ckappas = 0.01         ckappad = 0.01         acde    = 1         
+moin    = 15           noff    = 0.9          voffcv  = 0.02      
+kt1     = -0.37        kt1l    = 0.0           kt2     = -0.042        ute     = -1.5
+ua1     = 1e-009    ub1     = -3.5e-019    uc1     = 0    prt     = 0
+at      = 53000
+fnoimod = 1            tnoimod = 0         
+jss     = 0.0001       jsws    = 1e-011       jswgs   = 1e-010       njs     = 1         
+ijthsfwd= 0.01         ijthsrev= 0.001        bvs     = 10           xjbvs   = 1         
+jsd     = 0.0001       jswd    = 1e-011       jswgd   = 1e-010       njd     = 1         
+ijthdfwd= 0.01         ijthdrev= 0.001        bvd     = 10           xjbvd   = 1         
+pbs     = 1            cjs     = 0.0005       mjs     = 0.5          pbsws   = 1         
+cjsws   = 5e-010       mjsws   = 0.33         pbswgs  = 1            cjswgs  = 3e-010     
+mjswgs  = 0.33         pbd     = 1            cjd     = 0.0005       mjd     = 0.5        
+pbswd   = 1            cjswd   = 5e-010       mjswd   = 0.33         pbswgd  = 1         
+cjswgd  = 5e-010       mjswgd  = 0.33         tpb     = 0.005        tcj     = 0.001      
+tpbsw   = 0.005        tcjsw   = 0.001        tpbswg  = 0.005        tcjswg  = 0.001      
+xtis    = 3            xtid    = 3         
+dmcg    = 0e-006       dmci    = 0e-006       dmdg    = 0e-006       dmcgt   = 0e-007     
+dwj     = 0.0e-008     xgw     = 0e-007       xgl     = 0e-008     
+rshg    = 0.4          gbmin   = 1e-010       rbpb    = 5            rbpd    = 15         
+rbps    = 15           rbdb    = 15           rbsb    = 15           ngcon   = 1         
* BPTM 45nm PMOS

.model  pmos  pmos  level = 54
+version = 4.0          binunit = 1            paramchk= 1            mobmod  = 0         
+capmod  = 2            igcmod  = 1            igbmod  = 1            geomod  = 1         
+diomod  = 1            rdsmod  = 0            rbodymod= 1            rgatemod= 1         
+permod  = 1            acnqsmod= 0            trnqsmod= 0         
+tnom    = 27           toxe    = 1.4e-009     toxp    = 7e-010       toxm    = 1.4e-009   
+dtox    = 0            epsrox  = 3.9          wint    = 5e-009       lint    = 1.2e-008   
+ll      = 0            wl      = 0            lln     = 1            wln     = 1         
+lw      = 0            ww      = 0            lwn     = 1            wwn     = 1         
+lwl     = 0            wwl     = 0            xpart   = 0            toxref  = 1.4e-009   
+vth0    = -0.22        k1      = 0.39         k2      = 0.05         k3      = 0         
+k3b     = 0            w0      = 2.5e-006     dvt0    = 3.9          dvt1    = 0.635        
+dvt2    = -0.032       dvt0w   = 0            dvt1w   = 0            dvt2w   = 0         
+dsub    = 0.7          minv    = 0.05         voffl   = 0            dvtp0   = 0.5e-008     
+dvtp1   = 0.05         lpe0    = 5.75e-008    lpeb    = 2.3e-010     xj      = 2e-008     
+ngate   = 5e+020       ndep    = 2.8e+018     nsd     = 1e+020       phin    = 0         
+cdsc    = 0.000258     cdscb   = 0            cdscd   = 6.1e-008     cit     = 0         
+voff    = -0.15        nfactor = 2            eta0    = 0.15         etab    = 0         
+vfb     = 0.55         u0      = 0.0095       ua      = 1.6e-009     ub      = 8e-018     
+uc      = 4.6e-013     vsat    = 90000        a0      = 1.2          ags     = 1e-020     
+a1      = 0            a2      = 1            b0      = -1e-020      b1      = 0         
+keta    = -0.047       dwg     = 0            dwb     = 0            pclm    = 0.55      
+pdiblc1 = 0.03         pdiblc2 = 0.0055       pdiblcb = 3.4e-008     drout   = 0.56      
+pvag    = 1e-020       delta   = 0.014        pscbe1  = 8.14e+008    pscbe2  = 9.58e-007  
+fprout  = 0.2          pdits   = 0.2          pditsd  = 0.23         pditsl  = 2.3e+006   
+rsh     = 3            rdsw    = 250          rsw     = 160          rdw     = 160        
+rdswmin = 0            rdwmin  = 0            rswmin  = 0            prwg    = 3.22e-008  
+prwb    = 6.8e-011     wr      = 1            alpha0  = 0.074        alpha1  = 0.005      
+beta0   = 30           agidl   = 0.0002       bgidl   = 2.1e+009     cgidl   = 0.0002     
+egidl   = 0.8         
+aigbacc = 0.012        bigbacc = 0.0028       cigbacc = 0.002
+nigbacc = 1            aigbinv = 0.014        bigbinv = 0.004        cigbinv = 0.004
+eigbinv = 1.1          nigbinv = 3            aigc    = 0.69         bigc    = 0.0012
+cigc    = 0.0008       aigsd   = 0.0087       bigsd   = 0.0012       cigsd   = 0.0008
+nigc    = 1            poxedge = 1            pigcd   = 1            ntox    = 1
+xrcrg1  = 12           xrcrg2  = 5         
+cgso    = 7.43e-010    cgdo    = 7.43e-010    cgbo    = 2.56e-011    cgdl    = 1e-014     
+cgsl    = 1e-014       ckappas = 0.5          ckappad = 0.5          acde    = 1         
+moin    = 15           noff    = 0.9          voffcv  = 0.02      
+kt1     = -0.34        kt1l    = 0            kt2     = -0.052        ute     = -1.5
+ua1     = -1e-009    ub1     = 2e-018    uc1     = 0    prt     = 0
+at      = 33000
+fnoimod = 1            tnoimod = 0         
+jss     = 0.0001       jsws    = 1e-011       jswgs   = 1e-010       njs     = 1         
+ijthsfwd= 0.01         ijthsrev= 0.001        bvs     = 10           xjbvs   = 1         
+jsd     = 0.0001       jswd    = 1e-011       jswgd   = 1e-010       njd     = 1         
+ijthdfwd= 0.01         ijthdrev= 0.001        bvd     = 10           xjbvd   = 1         
+pbs     = 1            cjs     = 0.0005       mjs     = 0.5          pbsws   = 1         
+cjsws   = 5e-010       mjsws   = 0.33         pbswgs  = 1            cjswgs  = 3e-010     
+mjswgs  = 0.33         pbd     = 1            cjd     = 0.0005       mjd     = 0.5        
+pbswd   = 1            cjswd   = 5e-010       mjswd   = 0.33         pbswgd  = 1         
+cjswgd  = 5e-010       mjswgd  = 0.33         tpb     = 0.005        tcj     = 0.001      
+tpbsw   = 0.005        tcjsw   = 0.001        tpbswg  = 0.005        tcjswg  = 0.001      
+xtis    = 3            xtid    = 3         
+dmcg    = 5e-006       dmci    = 5e-006       dmdg    = 5e-006       dmcgt   = 6e-007     
+dwj     = 0e-008       xgw     = 3e-007       xgl     = 4e-008     
+rshg    = 0.4          gbmin   = 1e-010       rbpb    = 5            rbpd    = 15         
+rbps    = 15           rbdb    = 15           rbsb    = 15           ngcon   = 1

tanex

* BPTM 45nm NMOS
.model  nmos  nmos  level = 54
+version = 4.0          binunit = 1            paramchk= 1            mobmod  = 0         
+capmod  = 2            igcmod  = 1            igbmod  = 1            geomod  = 1         
+diomod  = 1            rdsmod  = 0            rbodymod= 1            rgatemod= 1         
+permod  = 1            acnqsmod= 0            trnqsmod= 0         
+tnom    = 27           toxe    = 1.4e-009     toxp    = 7e-010       toxm    = 1.4e-009   
+dtox    = 0            epsrox  = 3.9          wint    = 5e-009       lint    = 1.2e-008   
+ll      = 0            wl      = 0            lln     = 1            wln     = 1         
+lw      = 0            ww      = 0            lwn     = 1            wwn     = 1         
+lwl     = 0            wwl     = 0            xpart   = 0            toxref  = 1.4e-009   
+vth0    = 0.22         k1      = 0.35         k2      = 0.05         k3      = 0         
+k3b     = 0            w0      = 2.5e-006     dvt0    = 2.8          dvt1    = 0.52      
+dvt2    = -0.032       dvt0w   = 0            dvt1w   = 0            dvt2w   = 0         
+dsub    = 2            minv    = 0.05         voffl   = 0            dvtp0   = 1e-007     
+dvtp1   = 0.05         lpe0    = 5.75e-008    lpeb    = 2.3e-010     xj      = 2e-008     
+ngate   = 5e+020       ndep    = 2.8e+018     nsd     = 1e+020       phin    = 0         
+cdsc    = 0.0002       cdscb   = 0            cdscd   = 0            cit     = 0         
+voff    = -0.15        nfactor = 1.2          eta0    = 0.15         etab    = 0         
+vfb     = -0.55        u0      = 0.032        ua      = 1.6e-010     ub      = 1.1e-017   
+uc      = -3e-011      vsat    = 1.1e+005     a0      = 2            ags     = 1e-020     
+a1      = 0            a2      = 1            b0      = -1e-020      b1      = 0         
+keta    = 0.04         dwg     = 0            dwb     = 0            pclm    = 0.18      
+pdiblc1 = 0.028        pdiblc2 = 0.022        pdiblcb = -0.005       drout   = 0.45      
+pvag    = 1e-020       delta   = 0.01         pscbe1  = 8.14e+008    pscbe2  = 1e-007     
+fprout  = 0.2          pdits   = 0.2          pditsd  = 0.23         pditsl  = 2.3e+006   
+rsh     = 3            rdsw    = 150          rsw     = 150          rdw     = 150        
+rdswmin = 0            rdwmin  = 0            rswmin  = 0            prwg    = 0         
+prwb    = 6.8e-011     wr      = 1            alpha0  = 0.074        alpha1  = 0.005      
+beta0   = 30           agidl   = 0.0002       bgidl   = 2.1e+009     cgidl   = 0.0002     
+egidl   = 0.8         
+aigbacc = 0.012        bigbacc = 0.0028       cigbacc = 0.002
+nigbacc = 1            aigbinv = 0.014        bigbinv = 0.004        cigbinv = 0.004
+eigbinv = 1.1          nigbinv = 3            aigc    = 0.012        bigc    = 0.0028
+cigc    = 0.002        aigsd   = 0.012        bigsd   = 0.0028       cigsd   = 0.002
+nigc    = 1            poxedge = 1            pigcd   = 1            ntox    = 1
+xrcrg1  = 12           xrcrg2  = 5         
+cgso    = 6.238e-010   cgdo    = 6.238e-010   cgbo    = 2.56e-011    cgdl    = 2.495e-10     
+cgsl    = 2.495e-10    ckappas = 0.01         ckappad = 0.01         acde    = 1         
+moin    = 15           noff    = 0.9          voffcv  = 0.02      
+kt1     = -0.37        kt1l    = 0.0           kt2     = -0.042        ute     = -1.5
+ua1     = 1e-009    ub1     = -3.5e-019    uc1     = 0    prt     = 0
+at      = 53000
+fnoimod = 1            tnoimod = 0         
+jss     = 0.0001       jsws    = 1e-011       jswgs   = 1e-010       njs     = 1         
+ijthsfwd= 0.01         ijthsrev= 0.001        bvs     = 10           xjbvs   = 1         
+jsd     = 0.0001       jswd    = 1e-011       jswgd   = 1e-010       njd     = 1         
+ijthdfwd= 0.01         ijthdrev= 0.001        bvd     = 10           xjbvd   = 1         
+pbs     = 1            cjs     = 0.0005       mjs     = 0.5          pbsws   = 1         
+cjsws   = 5e-010       mjsws   = 0.33         pbswgs  = 1            cjswgs  = 3e-010     
+mjswgs  = 0.33         pbd     = 1            cjd     = 0.0005       mjd     = 0.5        
+pbswd   = 1            cjswd   = 5e-010       mjswd   = 0.33         pbswgd  = 1         
+cjswgd  = 5e-010       mjswgd  = 0.33         tpb     = 0.005        tcj     = 0.001      
+tpbsw   = 0.005        tcjsw   = 0.001        tpbswg  = 0.005        tcjswg  = 0.001      
+xtis    = 3            xtid    = 3         
+dmcg    = 0e-006       dmci    = 0e-006       dmdg    = 0e-006       dmcgt   = 0e-007     
+dwj     = 0.0e-008     xgw     = 0e-007       xgl     = 0e-008     
+rshg    = 0.4          gbmin   = 1e-010       rbpb    = 5            rbpd    = 15         
+rbps    = 15           rbdb    = 15           rbsb    = 15           ngcon   = 1         
* BPTM 45nm PMOS

.model  pmos  pmos  level = 54
+version = 4.0          binunit = 1            paramchk= 1            mobmod  = 0         
+capmod  = 2            igcmod  = 1            igbmod  = 1            geomod  = 1         
+diomod  = 1            rdsmod  = 0            rbodymod= 1            rgatemod= 1         
+permod  = 1            acnqsmod= 0            trnqsmod= 0         
+tnom    = 27           toxe    = 1.4e-009     toxp    = 7e-010       toxm    = 1.4e-009   
+dtox    = 0            epsrox  = 3.9          wint    = 5e-009       lint    = 1.2e-008   
+ll      = 0            wl      = 0            lln     = 1            wln     = 1         
+lw      = 0            ww      = 0            lwn     = 1            wwn     = 1         
+lwl     = 0            wwl     = 0            xpart   = 0            toxref  = 1.4e-009   
+vth0    = -0.22        k1      = 0.39         k2      = 0.05         k3      = 0         
+k3b     = 0            w0      = 2.5e-006     dvt0    = 3.9          dvt1    = 0.635        
+dvt2    = -0.032       dvt0w   = 0            dvt1w   = 0            dvt2w   = 0         
+dsub    = 0.7          minv    = 0.05         voffl   = 0            dvtp0   = 0.5e-008     
+dvtp1   = 0.05         lpe0    = 5.75e-008    lpeb    = 2.3e-010     xj      = 2e-008     
+ngate   = 5e+020       ndep    = 2.8e+018     nsd     = 1e+020       phin    = 0         
+cdsc    = 0.000258     cdscb   = 0            cdscd   = 6.1e-008     cit     = 0         
+voff    = -0.15        nfactor = 2            eta0    = 0.15         etab    = 0         
+vfb     = 0.55         u0      = 0.0095       ua      = 1.6e-009     ub      = 8e-018     
+uc      = 4.6e-013     vsat    = 90000        a0      = 1.2          ags     = 1e-020     
+a1      = 0            a2      = 1            b0      = -1e-020      b1      = 0         
+keta    = -0.047       dwg     = 0            dwb     = 0            pclm    = 0.55      
+pdiblc1 = 0.03         pdiblc2 = 0.0055       pdiblcb = 3.4e-008     drout   = 0.56      
+pvag    = 1e-020       delta   = 0.014        pscbe1  = 8.14e+008    pscbe2  = 9.58e-007  
+fprout  = 0.2          pdits   = 0.2          pditsd  = 0.23         pditsl  = 2.3e+006   
+rsh     = 3            rdsw    = 250          rsw     = 160          rdw     = 160        
+rdswmin = 0            rdwmin  = 0            rswmin  = 0            prwg    = 3.22e-008  
+prwb    = 6.8e-011     wr      = 1            alpha0  = 0.074        alpha1  = 0.005      
+beta0   = 30           agidl   = 0.0002       bgidl   = 2.1e+009     cgidl   = 0.0002     
+egidl   = 0.8         
+aigbacc = 0.012        bigbacc = 0.0028       cigbacc = 0.002
+nigbacc = 1            aigbinv = 0.014        bigbinv = 0.004        cigbinv = 0.004
+eigbinv = 1.1          nigbinv = 3            aigc    = 0.69         bigc    = 0.0012
+cigc    = 0.0008       aigsd   = 0.0087       bigsd   = 0.0012       cigsd   = 0.0008
+nigc    = 1            poxedge = 1            pigcd   = 1            ntox    = 1
+xrcrg1  = 12           xrcrg2  = 5         
+cgso    = 7.43e-010    cgdo    = 7.43e-010    cgbo    = 2.56e-011    cgdl    = 1e-014     
+cgsl    = 1e-014       ckappas = 0.5          ckappad = 0.5          acde    = 1         
+moin    = 15           noff    = 0.9          voffcv  = 0.02      
+kt1     = -0.34        kt1l    = 0            kt2     = -0.052        ute     = -1.5
+ua1     = -1e-009    ub1     = 2e-018    uc1     = 0    prt     = 0
+at      = 33000
+fnoimod = 1            tnoimod = 0         
+jss     = 0.0001       jsws    = 1e-011       jswgs   = 1e-010       njs     = 1         
+ijthsfwd= 0.01         ijthsrev= 0.001        bvs     = 10           xjbvs   = 1         
+jsd     = 0.0001       jswd    = 1e-011       jswgd   = 1e-010       njd     = 1         
+ijthdfwd= 0.01         ijthdrev= 0.001        bvd     = 10           xjbvd   = 1         
+pbs     = 1            cjs     = 0.0005       mjs     = 0.5          pbsws   = 1         
+cjsws   = 5e-010       mjsws   = 0.33         pbswgs  = 1            cjswgs  = 3e-010     
+mjswgs  = 0.33         pbd     = 1            cjd     = 0.0005       mjd     = 0.5        
+pbswd   = 1            cjswd   = 5e-010       mjswd   = 0.33         pbswgd  = 1         
+cjswgd  = 5e-010       mjswgd  = 0.33         tpb     = 0.005        tcj     = 0.001      
+tpbsw   = 0.005        tcjsw   = 0.001        tpbswg  = 0.005        tcjswg  = 0.001      
+xtis    = 3            xtid    = 3         
+dmcg    = 5e-006       dmci    = 5e-006       dmdg    = 5e-006       dmcgt   = 6e-007     
+dwj     = 0e-008       xgw     = 3e-007       xgl     = 4e-008     
+rshg    = 0.4          gbmin   = 1e-010       rbpb    = 5            rbpd    = 15         
+rbps    = 15           rbdb    = 15           rbsb    = 15           ngcon   = 1

wlongfly

谢谢了，正找这方面的介绍